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ZS-1052问世,单晶硅炉石墨热场材料再也不怕氧化了
2024-07-29

单晶硅拉晶炉的热场离不开石墨材料(三瓣石墨坩埚及其组件)的高温下高强度的工作。但是石墨在高温环境下容易发生氧化,氧化后发生酥化失去应有的强度。观察发现石墨的氧化程度会根据石墨生产中焦炭原料与制备方法有所不同,最低温度520-560℃时24小时重量损失1%,继续升温下的氧化程度与石墨材料表面状况(如粒径,微孔大小、孔隙率、致密程度等)及潜在能量—活化能有关。温度高于1200℃以上时,石墨的氧化速度随着氧的扩散会变得更快。

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为了减少石墨的氧化速度,增加它的使用寿命,提高单晶炉的工作稳定性及单晶硅的质量,单晶硅厂家可以选用志盛威华集团自主研发生产的ZS-1052石墨抗氧化剂。该涂料采用的是树脂主链熔断技术,在高温高压的环境下将交联羟基的硅氟树脂均匀熔断,形成纳米级的杂环无机树脂单体,成膜后耐温可达1800℃。改性后的树脂单体,在石墨中渗透性极强,包裹性极好,可延长石墨制品在高温下运行寿命5-8倍以上。

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直拉单晶炉的热系统,也就是所谓的热场,是指为了熔化硅料,并使单晶生长保持在一定温度下进行的整个系统。单晶炉热场的好坏直接关系到单晶硅的质量,合格的热场能够生长出高质量的单晶,因此创造良好的热场条件,在直拉单晶工艺上有非常重要的因素,志盛威华ZS-1052高温石墨抗氧化剂可使石墨等多孔材料在高温下保持很长时间不氧化,就保持了热场的稳定性,从而可持续生长并拉出高质量的单晶。

单晶炉石墨热场一般包括压环、保温盖、上中下保温罩、加热器、电极、石墨坩埚(多为三瓣埚)、坩埚托杆、坩埚托盘、导流筒、石墨螺栓,炉底、金属电极、托杆等。这些组件都需要做抗氧化处理,才能保证高温下保持稳定的强度和电性能。

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志盛威华ZS-1052石墨抗氧化剂,与市场上同类材料相比有很多突出的优势特点:

1.渗透包裹性极好:涂料中含有大量改性的纳米单体树脂,渗透包裹性好。

2.附着力高:经过改性的柔性无机树脂单体单独成膜,具有大量的官能团,与基材形成一体化结构。

3.耐温高:耐温可达到1800度,高温下氧阀值高,既不与氧化性介质反应,又能防止其进入,从而起到极佳的防氧化效果。

4.常温下亦可起到防水防潮的作用。

 

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